由 dawei
近日，我国战略新兴产业再传捷报，泛半导体产业智能装备生产企业合肥欣奕华智能机器有限公司(以下简称“合肥欣奕华”)开发的首台硅基OLED蒸镀机成功导入台州观宇科技有限公司(以下简称“观宇科技”) 量产线并完成全彩点亮，这标志着我国泛半导体产业核心工艺装备实现自主化迈入新的里程碑。
据悉，观宇微显示器采用无彩膜、自发光native RGB AMOLED技术，可实现高像素密度、高亮度、高对比度、高色彩饱和度与低功耗。作为国内OLED装备研发制造厂商，合肥欣奕华成功为其完成了核心工艺设备——硅基OLED蒸镀机的开发攻关。这是国内首台全自主研发面世的硅基OLED蒸镀机，是合肥欣奕华基于长期技术积累，攻克“卡脖子”技术难题，继成功研发G1(可蒸镀基板尺寸200*200mm)、G2.5(可蒸镀基板尺寸370*470mm)OLED蒸镀机及G6 H(可蒸镀基板尺寸925*1500mm)蒸镀机关键装置之后的又一重大突破，也是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。
蒸镀机是OLED显示器件制备环节的核心设备，蒸镀机把有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上，是推动相关技术实现产业化的最关键因素，也是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。合肥欣奕华通过借鉴OLED蒸镀机研发设计经验，依托OLED蒸镀机蒸发源设计和对位技术的二次创新，攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚均一性、稳定性和微米级高精密定位技术难题。同时，对于某些特殊蒸镀材料，通过蒸镀趋势模拟，开发特定的蒸发源并制定蒸镀工艺实现其长期稳定蒸镀。