拓荆科技首轮问询回复：晶圆厂需求增加等原因致PECVD销售收入大

集微网消息，2021年9月10日，拓荆科技股份有限公司（以下简称“拓荆科技”）就上海证券交易所关于“主要产品销量及销售价格分析”等问询问题进行了回复。

 

拓荆科技表示，2018-2020年度、2021年1-3月，公司主要产品为PECVD设备，已实现产业化应用并实现销售的产品包括12英寸PECVD设备（PF-300T）和8英寸PECVD设备（PF-200T）。PF-300T设备主要应用于28nm以上逻辑芯片及FLASH、DRAM存储芯片制造，PF-200T设备主要应用于90nm以上集成电路前道工艺及3DTSV先进封装环节。

 

拓荆科技的薄膜沉积设备由1个平台（TM）和多个反应腔（PM）组成，PM的数量通常为1-3个，通常PM数量越多，设备的售价越高。